— 陆学斌主编
索书号：TN402/25
标准编码： 978-7-301-29691-2
出版信息：北京 北京大学出版社 2018
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— 余华,师建英编著
索书号：TN405/7
标准编码： 978-7-302-42846-6
出版信息：北京 清华大学出版社 2016
主题词： 集成电路工艺 集成电路
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