书目详细信息
： 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5674-1789-2:CNY58.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 230000 |
| 题名责任者项： | 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计/.徐安成著 |
| 出版发行项： | 哈尔滨:,东北林业大学出版社:,2019.5 |
| 载体形态项： | 17cm |
| 提要文摘： | 本书的内容包括：针对45 nm节点投影光刻物镜的应用, 开展了工作波长为193 nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜, 并对两个设计方案的优劣进行对比分析, 选择了同轴式结构作为最终的设计方案，等等。 |
| 题名主题： | 投影光刻物镜 光学设计 |
| 中图分类： | TH74 |
| 个人名称等同： | 徐安成 著 |
| 记录来源： | CN (网众)采访数据 20200516 |
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