书目详细信息
： 聚合物微纳制造技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-118-08359-0:CNY83.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 聚合物微纳制造技术/.王立鼎[等]编著 |
| 出版发行项： | 北京:,国防工业出版社:,2012 |
| 载体形态项： | 208页:;+图:;+24cm |
| 丛编项： | 微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列 |
| 一般附注： | “十二五”国家重点图书出版规划项目 国家科学技术学术著作出版基金资助出版 总装备部国防科技图书出版基金资助 |
| 提要文摘： | 本书阐述了聚合物微纳制造的各项关键技术，涵盖了聚合物材料特性、微纳成形工艺技术及设备、高能束刻蚀、封合连接技术及设备等，并对聚合物微纳技术典型应用情况进行了总结。 |
| 分集： | MEMS与微系统系列 |
| 并列题名： | Polymer micro-nanofabrication technology eng |
| 题名主题： | 微电子技术 |
| 题名主题： | 微电子技术 生产工艺 |
| 中图分类： | TN405 |
| 中图分类： | TN405 |
| 个人名称等同： | 王立鼎 编著 |
| 记录来源： | CN 江苏新华 20131121 |
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