书目详细信息
： 微机电系统基础
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-111-35827-5:CNY79.00 |
|---|---|
| 作品语种： | eng |
| 出版国别： | CN 110000 |
| 题名责任者项： | 微机电系统基础/.(美) Chang Liu著 |
| 版本项： | 影印版 |
| 出版发行项： | 北京:,机械工业出版社:,2011 |
| 载体形态项： | 576页:;+图:;+25cm |
| 丛编项： | 经典原版书库 |
| 提要文摘： | 本书全面论述了微机电系统 (MEMS) 的基础知识， 涵盖MEMS技术的主要方面， 同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的技术论文， 为学生深入学习MEMS技术提供了指引。 |
| 并列题名： | 微机电系统基础 chi |
| 题名主题： | 微电机 英文 |
| 题名主题： | 微电子技术 机电一体化 英文 |
| 中图分类： | TH-39 |
| 中图分类： | TM38 |
| 中图分类： | TM38 |
| 个人名称等同： | 刘昶 著 |
| 记录来源： | CN 江苏新华 20130619 |
| 电子图书： | 阅读地址 |