| ISBN/价格: | 978-7-122-35801-1:CNY45.00 |
|---|---|
| 作品语种: | chi |
| 出版国别: | CN 110000 |
| 题名责任者项: | 多晶硅生产技术/.刘秀琼主编 |
| 版本项: | 2版 |
| 出版发行项: | 北京:,化学工业出版社:,2019 |
| 载体形态项: | 248页:;+图:;+26cm |
| 一般附注: | 新能源类专业教学资源库建设配套教材 |
| 载体形态附注: | 实际页数为:249 |
| 提要文摘: | 本教材主要讲述改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程,主要包括三氯氢硅的合成、精馏提纯,三氯氢硅氢还原制备高纯硅、尾气干法回收、硅芯的制备等核心内容,同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备、硅烷法制备高纯硅做了详细介绍。教材紧密结合生产实践,注重理论与实践的有机结合。 |
| 题名主题: | 半导体材料 硅 生产技术 教材 |
| 中图分类: | TN304.1 |
| 个人名称等同: | 刘秀琼 主编 |
| 记录来源: | CN 91MARC 20201022 |
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