书目详细信息
： RF MEMS器件与技术
书目信息 机读格式(MARC)
| ISBN/价格： | 978-7-5684-1723-5:CNY48.00 |
|---|---|
| 作品语种： | chi |
| 出版国别： | CN 320000 |
| 题名责任者项： | RF MEMS器件与技术/.郭兴龙编著 |
| 出版发行项： | 镇江:,江苏大学出版社:,2021 |
| 载体形态项： | 175页:;+图:;+26cm |
| 提要文摘： | 本书共11章,内容包括：微机电系统力学基础、MEMS工艺、RF MEMS 器件设计微波基础、微机电系统材料等。 |
| 并列题名： | RF MEMS devices and technology eng |
| 题名主题： | 微机电系统 元器件 |
| 题名主题： | 微机电系统 技术 |
| 中图分类： | TN4 |
| 中图分类： | TN6 |
| 个人名称等同： | 郭兴龙 编著 |
| 记录来源： | CN TSG 20251112 |
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